Принцип работы гироскопа - вибрационный: возбуждение угловых колебаний балки вокруг 2-х осей с автоматическимP сведением собственных частот. Конструкция гирочипа АИСТ-120 (3D-модель, см. Рис. 1) адаптирована к производству компании Silex Microsystems (Стокгольм, Швеция), одного из лидеров в изготовлении МЕМS-устройств и прецизионном травлении кремния.
Особенности конструкции и технологии производства
Мы всегда заинтересованы в совместном, взаимовыгодном сотрудничестве с Российскими и зарубежными разработчиками по вопросам разработки навигационных датчиков и систем. Если у Вас есть интерес к нашим перспективным разработкам - обращайтесь к нам, мы обязательно рассмотрим любые предложения!P PP
На данный момент, обе разработки - и гирочип АИСТ-120 и инерциальный блок на их основе АИСТ-330 - находятся на этапе доработки и доводочных испытаний с целью оптимизации конструкции и схемотехнических решений как самого гирочипа, так и прибора АИСТ-330. На данный момент приборы не поставляютя заказчикам и являются перспективными разработками.P
На базе гирочипов АИСТ-120 нами был разработан инерциальный измерительный блок АИСТ-330 и произведена опытная партия. В состав блока входят три гирочипа АИСТ-120, один трехосный акселерометр ADXL-326, электронные платы сервисной электроники и вторичный источник питания. Более подробную информацию о приборе АИСТ-330 можно найти .
Ключевой элемент MEMS гироскопа - кремниевый гирочип - представляет собой физически однородную, негазящую и, как следствие, обеспечивающую стабильность параметров управляемую кремниевую 3D структуру, состоящую в общем случае из N кремниевых пластин, топологически формирующих элементы контуров возбуждения и измерения перемещений. Это позволяет задавать колебания частям 3D структуры амплитудой до 10 мкм, контролируемые измерительными датчиками с разрешением на уровне 1 Нм. Разрабатываемый гирочип имеет аббревиатуру АИСТ-120. P
Гирочип АИСТ-120Наша компания в течении нескольких лет ведет исследования и разработки в области проектирования российского MEMS гироскопа и инерциального измерительного блока (ИИБ) на его основе.
MEMS инерциальные датчики и системы
Комментариев нет:
Отправить комментарий